T550I是维开科技为高质量的铟柱沉积工艺开发的一款专用电阻蒸发系统，功能强大，稳定可靠，自动化控制程度高，维护简单，可以满足专业的倒装焊工艺需求。

§ 抽气系统：

低温泵/磁悬浮分子泵+干式机械泵

§ 真空检测：

全量程真空规

§ 电阻源功率：

最大8千瓦

§ 离子源：

考夫曼/霍尔离子源

§ 膜厚监控：

晶振控制器

§ 工件角度：

-45°至+45°可调

§ 极限真空度：

1E-5Pa

§ 工件盘控温：

-80℃至200℃

§ 均匀可镀区：

最大Ø300mm

§ 镀膜均匀性：

±3%

§ 镀膜重复性：

±2%

§ 占地面积：

3.9m（长）*2.8m（宽）*2.2m（高）