Ion500E是维开科技开发的一款通用型离子束刻蚀系统，功能强大，稳定可靠，自动化控制程度高，维护简单，可以满足中小批量生产需求和实验平台的一般性需求。

§ 抽气系统：

低温泵/磁悬浮分子泵+干式机械泵

§ 真空检测：

全量程真空规+薄膜真空规

§ 流量控制：

数字式质量流量计

§ 偏压：

射频/脉冲直流

§ 离子源：

射频/直流离子源，可选配

§ 极限真空度：

1E-5Pa

§ 工件盘控温：

室温至500℃

§ 均匀刻蚀区：

最大Ø150mm

§ 刻蚀均匀性：

±5%

§ 占地面积：

1.5m（长）*1.8m（宽）*2.1m（高）