C600是维开科技开发的一款通用型多腔室集成系统，功能强大，可扩展性强，稳定可靠，自动化控制程度高，可满足多种工艺集成需求。

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真空工艺腔：

最多5个

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工艺条件：

溅射/除气/预清洗/蒸发

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真空进样室：

最多2个

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自动进样室：

集成BROOKS系统

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离子源：

可选配

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抽气系统：

低温泵/磁悬浮分子泵+干式机械泵

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真空检测：

全量程真空规+薄膜真空规

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流量控制：

数字式质量流量计

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极限真空度：

1E-5Pa

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工件盘控温：

-80℃至500℃

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均匀镀膜区：

Ø200mm

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镀膜均匀性：

±2%

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占地面积：

根据需求订制