EP100是一款通用型皮尔斯电子枪蒸发系统，稳定可靠，维护简单，可以满足批量生产和研究开发的各类需求。

§ 真空工艺腔：

1个不锈钢腔室

§ 真空进样室：

1套独立手动样品进样腔室

§ 抽气系统：

扩散泵+机械泵

§ 真空检测：

全量程真空规

§ 流量控制：

数字式质量流量计

§ 电子枪数量：

可并联3至4套电子枪

§ 灯丝电流：

120安培

§ 电子束流：

3安培

§ 极限真空度：

5E-4Pa

§ 工件盘控温：

1200℃

§ 均匀可镀区：

Ø500mm

§ 镀膜均匀性：

±5%