E1500F是维开科技开发的一款晶圆级全自动电子束蒸发系统，配有EFEM系统，功能强大，稳定可靠，维护简单，可满足大批量生产需求。

§ 抽气系统：

低温泵/磁悬浮分子泵+干式机械泵

§ 真空检测：

全量程真空规

§ 电子枪功率：

最大10千瓦

§ 电阻蒸发源：

可选配

§ 离子源：

直流/射频

§ 膜厚监控：

晶振控制器

§ 挂具类型：

行星式

§ 极限真空度：

1E-5Pa

§ 工件盘控温：

室温至200℃

§ 均匀可镀区：

最大12*Ø200mm

§ 镀膜均匀性：

±2%

§ 镀膜重复性：

±2%

§ 占地面积：

9.5m（长）*5.6m（宽）*3.5m（高）